Vakuumpumpe
EP3444478
Art B1
16. Oktober 2024
Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3444478
- Aktenzeichen
- EP17186876
- Anmeldetag
- 18. August 2017
- Veröffentlichung
- 16. Oktober 2024
- Erteilung
- 16. Oktober 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D29/058F04D29/059F16C32/04F16C25/08F16C27/04F16C27/06
Abstract
Vakuumpumpe (10), insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Stator und mit einem drehbar in dem Stator gelagerten Rotor (17) für zumindest eine Pumpstufe, wobei zur Lagerung des Rotors zumindest eine Lagereinheit vorgesehen ist, die ein Lager (42) sowie zumindest einen dem Lager zugeordneten Aktor (58, 60, 62, 68, 72) aufweist, der zur selektiven Veränderung zumindest einer Betriebseigenschaft und/oder -stellung des Lagers angeordnet ist.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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