Herstellung einer Maskenschicht

EP3444671 Art A1 20. Februar 2019

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3444671
Aktenzeichen: EP17186841
Anmeldetag: 18. August 2017
Veröffentlichung: 20. Februar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00G03F7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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