Halbleiterstruktur mit Gespannt Aufgehängter Membran, die einen Optischen Hohlraum Enthält

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3447549

Aktenzeichen

EP18189984

Anmeldetag

21. August 2018

Veröffentlichung

8. Juli 2020

Erteilung

8. Juli 2020

Rechtsraum

EP

IPC

G02B6/122H01S5/10H01S5/125H01S5/183G02B6/12G02B6/10

Abstract

L'invention porte sur une structure semiconductrice comportant : o une couche semiconductrice (10), comportant une membrane suspendue au-dessus d'une couche support (2), la membrane suspendue étant formée d'une portion centrale (20) contrainte en tension, et de plusieurs bras tenseurs (30), o au moins une cavité optique, délimitée par deux réflecteurs optiques (40), disposés dans les portions latérales (30) de part et d'autre de la portion centrale (20) ; caractérisée en ce que : o la portion centrale (20) est adaptée à transmettre en direction des réflecteurs optiques (40) au moins un mode d'ordre impair (TE01 ; TM01) ; o chacun desdits réflecteurs optiques (40) est formé de deux demi-réflecteurs latéraux (41) agencés de part et d'autre d'un axe longitudinal () de la portion latérale (30), de manière à réfléchir au moins partiellement ledit mode d'ordre impair (TE01 ; TM01).

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete