Hochauflösende 2D-Mikroskopie mit Verbesserter Schnittdicke

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3447559

Aktenzeichen

EP18189298

Anmeldetag

16. August 2018

Veröffentlichung

8. April 2020

Erteilung

8. April 2020

Rechtsraum

EP

IPC

G02B21/00G02B27/58

Abstract

Es wird beschrieben ein Verfahren zur hochauflösenden 2D-Scanning-Mikroskopie einer Probe (P), wobei die Probe (P) mit Beleuchtungsstrahlung derart beleuchtet wird, dass die Beleuchtungsstrahlung (B) an einem Punkt in oder auf der Probe (P) zu einem beugungsbegrenzten Beleuchtungsfleck (14) gebündelt wird, wobei der Punkt beugungsbegrenzt in ein Beugungsbild (18) auf einen ortsauflösenden Flächendetektor (17) abgebildet wird und der Flächendetektor (17) eine Ortsauflösung aufweist, die eine Beugungsstruktur (18a) des Beugungsbildes (18) auflöst, wobei weder eine Abbildungs-Punktbildverwaschungsfunktion noch eine Beleuchtungs-Punktbildverwaschungsfunktion zum Erzeugen einer Asymmetrie manipuliert wird, der Punkt relativ zur Probe (P) in verschiedene Scanpositionen mit einer Schrittweite verschoben wird, die kleiner ist als der halbe Durchmesser des Beleuchtungsflecks (14), wobei mehrere Scanpositionen bei einer festen z-Lage einer Fokalebene der Abbildung abgefahren werden, der Flächendetektor (17) ausgelesen und aus den Daten des Flächendetektors (17) und aus den diesen Daten zugeordneten Scanpositionen ein 2D-Bild der Probe (P) erzeugt wird, das eine Auflösung aufweist, die über eine Auflösungsgrenze der Abbildung gesteigert ist, wobei mit den Daten des Flächendetektors (17) zu den mehreren Scanpositionen bei der festen z-Lage der Fokalebene eine dreidimensionale Rekonstruktion durchgeführt wird, die ein vorläufiges tiefenaufgelöstes 3D-Bild liefert, eine reduzierte Schnittdicke festgelegt wird oder vorbestimmt ist, die geringer ist als eine Schnittdicke, die sich durch das Abbilden ergibt, im vorläufigen tiefenaufgelösten 3D-Bild nur Anteile selektiert werden, die innerhalb der reduzierten Schnittdicke um die feste z-Lage der Fokalebene liegen, und Anteile, die außerhalb der reduzierten Schnittdicke um die feste z-Lage der Fokalebene liegen, verworfen werden, um das 2D-Bild zu erzeugen.

Anmelder

Firma

Carl Zeiss Microscopy GmbH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete