Aberrationsmessverfahren und Elektronenmikroskop

EP3447788 Art B1 18. Dezember 2019

Anmelder: JEOL LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3447788
Aktenzeichen: EP18190202
Anmeldetag: 22. August 2018
Veröffentlichung: 18. Dezember 2019
Erteilung: 18. Dezember 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/153H01J37/147H01J37/22H01J37/244H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JEOL LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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