Verfahren zur Herstellung eines Leitenden Grabens oder einer Durchkontaktierung

EP3451366 Art A1 6. März 2019

Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives, LAM Research Corporation 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3451366
Aktenzeichen: EP17306132
Anmeldetag: 1. September 2017
Veröffentlichung: 6. März 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
LAM Research Corporation
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von