Verfahren zur Herstelling von Euv Retikeln und Retikel für Euv-Lithographie
EP3454120
Art B1
1. Mai 2024
Anmelder: IMEC VZW, Katholieke Universiteit Leuven, IMEC vzw 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3454120
- Aktenzeichen
- EP17190264
- Anmeldetag
- 9. September 2017
- Veröffentlichung
- 1. Mai 2024
- Erteilung
- 1. Mai 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/22G03F1/54G03F1/24G03F1/48G03F1/52G21K1/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC VZW
Katholieke Universiteit Leuven
IMEC vzw - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
Katholieke Universiteit Leuven
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