Verfahren zur Herstellung einer Maske

EP3454121 Art A1 13. März 2019

Anmelder: IMEC vzw, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3454121
Aktenzeichen: EP17189717
Anmeldetag: 6. September 2017
Veröffentlichung: 13. März 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/36G03F1/68G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC vzw
Katholieke Universiteit Leuven
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

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