System und Verfahren zur Automatisierung der Benutzerinteraktion für Halbleiterherstellungsausrüstung
EP3454141
Art B1
15. November 2023
Anmelder: Lam Research Corporation, LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3454141
- Aktenzeichen
- EP18193543
- Anmeldetag
- 10. September 2018
- Veröffentlichung
- 15. November 2023
- Erteilung
- 15. November 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B13/02G05B19/418G05B23/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Lam Research Corporation
LAM Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Mewburn Ellis LLP
Mewburn Ellis LLP · München