Vorrichtung zur Detektion von Ionen

EP3455873 Art B1 16. April 2025

Anmelder: Leybold GmbH, Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3455873
Aktenzeichen
EP17719848
Anmeldetag
28. April 2017
Veröffentlichung
16. April 2025
Erteilung
16. April 2025
Rechtsraum
EP
IPC
H01J49/38H01J49/02H01J49/42
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
Leybold GmbH
Carl Zeiss SMT GmbH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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