Zusammensetzungen und Verfahren mit Verwendung davon für Kohlenstoffdotierte Siliciumhaltige Filme

EP3460827 Art B1 25. Mai 2022

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3460827
Aktenzeichen: EP18201141
Anmeldetag: 4. Februar 2016
Veröffentlichung: 25. Mai 2022
Erteilung: 25. Mai 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02C23C16/40C23C16/34C23C16/36C23C16/56C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von