Verfahren zum Wuchten eines Rotors einer Vakuumpumpe

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3462035

Aktenzeichen

EP17193844

Anmeldetag

28. September 2017

Veröffentlichung

7. April 2021

Erteilung

7. April 2021

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04B23K26/00F04D29/66G01M1/34B23K26/06B23K26/082B23K26/361B23K26/0622B23K26/352B23K26/362B23K101/04B23K101/20

Abstract

Verfahren zum Wuchten eines Rotors (13) einer Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, bei dem eine Unwucht des Rotors ermittelt wird und Material von dem Rotor mittels eines Lasers (1) in Abhängigkeit von der ermittelten Unwucht abgetragen wird, um die Unwucht zu verringern, wobei für einen Strahl (d1) des Laser eine Grobausrichtung und eine Feinausrichtung durchgeführt werden, wobei die Grobausrichtung ein Ausrichten des Strahls auf einen Flächenabschnitt (31, 51) des Rotors umfasst, der zur Materialabtragung vorgesehen ist, wobei die Grobausrichtung mittels zumindest eines ersten Spiegels (10) durchgeführt wird, der relativ zum Rotor translatorisch bewegt wird, und wobei bei der Feinausrichtung die Ausrichtung des Strahls ausgehend von der Grobausrichtung variiert wird, um ein gezieltes Abtragen des Materials im Bereich des Flächenabschnitts zu bewirken.

Anmelder

Firma

PFEIFFER VACUUM GMBH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete