Hochpräzises Schattenmaskenabscheidungssystem und Verfahren dafür
EP3464672
Art B1
17. Juli 2024
Anmelder: Emagin Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3464672
- Aktenzeichen
- EP17802312
- Anmeldetag
- 24. Juli 2017
- Veröffentlichung
- 17. Juli 2024
- Erteilung
- 17. Juli 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/04C23C14/50H01L21/68H01L21/683H10K71/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Emagin Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA