Stufensystem, Lithografische Vorrichtung und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP3465347
Art A1
10. April 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3465347
- Aktenzeichen
- EP17721169
- Anmeldetag
- 5. Mai 2017
- Veröffentlichung
- 10. April 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H02K41/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Verhoeven, Johannus Theodorus Maria
Veldhoven, Niederlande
12
Patente gesamt
6
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven