Euv-Kollektor

EP3465348 Art B1 24. November 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3465348
Aktenzeichen: EP17725602
Anmeldetag: 24. Mai 2017
Veröffentlichung: 24. November 2021
Erteilung: 24. November 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B5/08G21K1/06G02B5/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

Vertreten von