Systeme und Verfahren mit einem Neuronalen Netzwerk und einem Physischen Forward-Modell für Halbleiteranwendungen
EP3465552
Art B1
24. Mai 2023
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3465552
- Aktenzeichen
- EP17807494
- Anmeldetag
- 1. Juni 2017
- Veröffentlichung
- 24. Mai 2023
- Erteilung
- 24. Mai 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06V10/764G06V10/82G06N3/063G06N3/08G06N3/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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