Suszeptor zum Halten einer Halbleiterscheibe, Halbleiterscheibe und Herstellungsverfahren
EP3469624
Art B1
20. April 2022
Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3469624
- Aktenzeichen
- EP17728487
- Anmeldetag
- 31. Mai 2017
- Veröffentlichung
- 20. April 2022
- Erteilung
- 20. April 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02C23C16/458C30B25/12C30B31/14H01L21/687// C30B29/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Siltronic AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
281 Patente in unserer Datenbank