Elektrische Durchführung für ein Vakuumgerät, in der Form einer Dichtungsplatine
EP3470681
Art B1
22. September 2021
Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3470681
- Aktenzeichen
- EP17195789
- Anmeldetag
- 10. Oktober 2017
- Veröffentlichung
- 22. September 2021
- Erteilung
- 22. September 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04D25/06F04D29/02F04D29/08H01R13/52H01L21/48H05K3/40H05K1/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM GMBH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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