Methode zur Abgabe von Chemischen Vorläufer in einem Abscheidungsverfahren

EP3473747 Art B1 7. Mai 2025

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3473747
Aktenzeichen: EP18209656
Anmeldetag: 10. Mai 2016
Veröffentlichung: 7. Mai 2025
Erteilung: 7. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/448

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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