Erscheinungsbildinspektionsvorrichtung, Oberflächenverarbeitungssystem, Erscheinungsbildinspektionsprogramm und Projektionsmaterialaustauschbestimmungsverfahren

EP3474004 Art A1 24. April 2019

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3474004
Aktenzeichen: EP17813026
Anmeldetag: 26. April 2017
Veröffentlichung: 24. April 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/88B24C9/00B24C1/00B24C7/00G01N21/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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