Scatterometer und Verfahren zur Scatterometrie mittels Akustischer Strahlung
EP3474074
Art A1
24. April 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3474074
- Aktenzeichen
- EP17196893
- Anmeldetag
- 17. Oktober 2017
- Veröffentlichung
- 24. April 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01N29/04G01N29/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Broeken, Petrus Henricus Johannes
Veldhoven, Niederlande
88
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte