Dreidimensionales Bildrekonstruktionsverfahren

EP3474309 Art B1 15. April 2020

Anmelder: JEOL LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3474309
Aktenzeichen: EP18189380
Anmeldetag: 16. August 2018
Veröffentlichung: 15. April 2020
Erteilung: 15. April 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JEOL LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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