Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Musterplatzierung und Mustergrösse und Computerprogramm dafür
EP3475972
Art A1
1. Mai 2019
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3475972
- Aktenzeichen
- EP16907494
- Anmeldetag
- 27. Juni 2016
- Veröffentlichung
- 1. Mai 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66H01L21/027G01N21/956G03F1/84G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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