Silacyclische Verbindungen und Verfahren zur Abscheidung von Siliciumhaltigen Filmen unter Verwendung davon

EP3476971 Art B1 17. Juni 2020

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3476971
Aktenzeichen: EP18202935
Anmeldetag: 26. Oktober 2018
Veröffentlichung: 17. Juni 2020
Erteilung: 17. Juni 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/30C23C16/56H01B3/18H01L21/02H01B3/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von