Prozesskammer und Verfahren zur Spülung davon

EP3476972 Art B1 3. September 2025

Anmelder: L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, Air Liquide Deutschland GmbH, L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3476972
Aktenzeichen: EP17198365
Anmeldetag: 25. Oktober 2017
Veröffentlichung: 3. September 2025
Erteilung: 3. September 2025
Rechtsraum: EP
IPC: B22F10/32B22F10/77B22F12/00B22F12/70B33Y10/00B33Y50/02H01L21/67C23C16/44// H01J37/32B22F10/28B22F12/90

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Air Liquide Deutschland GmbH
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von