Prozesskammer und Verfahren zur Spülung davon
EP3476972
Art B1
3. September 2025
Anmelder: L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, Air Liquide Deutschland GmbH, L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3476972
- Aktenzeichen
- EP17198365
- Anmeldetag
- 25. Oktober 2017
- Veröffentlichung
- 3. September 2025
- Erteilung
- 3. September 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B22F10/32B22F10/77B22F12/00B22F12/70B33Y10/00B33Y50/02H01L21/67C23C16/44// H01J37/32B22F10/28B22F12/90
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Air Liquide Deutschland GmbH
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude - Land
- 🇫🇷 Frankreich