Prozesskammer und Verfahren zur Spülung davon
Anmelder: L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude, Air Liquide Deutschland GmbH, L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3476973
- Aktenzeichen
- EP17198366
- Anmeldetag
- 25. Oktober 2017
- Veröffentlichung
- 1. Mai 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44B29C64/371B22F10/322B22F10/28B33Y10/00B33Y30/00
Abstract
Method for purging a process chamber (1) comprising at least the following steps: a) increasing a temperature of a gas initially contained in the process chamber (1) at least to a first temperature, b) introducing a purging gas, which is at a second temperature, into the process chamber (1), wherein the first temperature is higher than the second temperature. With the provided a method process chamber (1) can be purged with a purging gas such as nitrogen and/or argon at a particularly low consumption of the purging gas and/or with a particularly short purging time. This can be achieved by increasing the temperature of the gas initially contained within the process chamber (1) prior to purging, thus reducing the density of this gas.
Anmelder
- Firmen
- L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Air Liquide Deutschland GmbH
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
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