Verfahren zur Bestimmung eines Wertes eines Interessierenden Parameters, Verfahren zur Reinigung eines Signals mit Informationen über einen Interessierenden Parameter

EP3477391 Art A1 1. Mai 2019

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3477391
Aktenzeichen
EP17198461
Anmeldetag
26. Oktober 2017
Veröffentlichung
1. Mai 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20G03F1/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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