Metrologievorrichtung, Verfahren zur Messung einer Struktur, Vorrichtungherstellungsverfahren
EP3477392
Art A1
1. Mai 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3477392
- Aktenzeichen
- EP17199439
- Anmeldetag
- 31. Oktober 2017
- Veröffentlichung
- 1. Mai 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01N21/956
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Broeken, Petrus Henricus Johannes
Veldhoven, Niederlande
88
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte