Substrathaltevorrichtung, Substratverarbeitungsvorrichtung und Substratverarbeitungsverfahren

EP3477393 Art B1 7. Januar 2026

Anmelder: EBARA CORPORATION, Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3477393
Aktenzeichen
EP18202401
Anmeldetag
24. Oktober 2018
Veröffentlichung
7. Januar 2026
Erteilung
7. Januar 2026
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20B24B37/04H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
EBARA CORPORATION
Ebara Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
Vertreten von
Emde, Eric Wagner & Geyer München, Deutschland
1.866
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32
Fachgebiete
15
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Akustik, Musik & Datenspeicherung Elektronik & Schaltungstechnik
Zum Anwaltsprofil
Kanzlei
Wagner & Geyer München, Deutschland

Wagner & Geyer wurde 1972 von Karl H. Wagner in München gegründet und fusionierte 1983 mit Dr. Ulrich F. Geyer. Neben Patenten begleitet die Kanzlei Designs, Gebrauchsmuster und Marken im internationalen Partnernetzwerk und berät traditionell eng mit japanischen Mandanten auf Deutsch, Englisch und Japanisch.

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