Elektrochemischer Gassensor mit Mems-Fertigungstechnologie
Anmelder: Honeywell International Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3480589
- Aktenzeichen
- EP17199871
- Anmeldetag
- 3. November 2017
- Veröffentlichung
- 21. September 2022
- Erteilung
- 21. September 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N27/404
Abstract
Apparatus and associated methods relate to a micro-electro-mechanical system (MEMS) based gas sensor including an electrolyte contacting one or more top electrode(s) arranged on the bottom surface of a top semiconductor substrate (TSS), and one or more bottom electrode(s) arranged on the top of a bottom semiconductor substrate (BSS), the TSS and BSS joined with an adhesive seal around the electrolyte, the sensor including one or more capillaries providing gaseous communication to the electrolyte from an external ambient environment. The electrodes may be electrically accessed by one or more vias to externally accessible bond pads. In some examples, an electrical connection may be made from an additional bond pad on top of the TSS to the electrolyte. Various embodiments may reduce the size of various gas sensors to advantageously allow their inclusion into portable electronic devices.
Anmelder
- Firma
- Honeywell International Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanischer Mischkonzern mit Schwerpunkten in Luft- und Raumfahrttechnik, Automatisierungslösungen, Gebäudetechnik sowie Spezialchemikalien und -materialien für Industrie- und Verteidigungskunden.
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Fachgebiete
Sitz im englischen Bakewell in Derbyshire, Kanzlei aus UK Chartered und European Patent Attorneys mit eigener Industrieerfahrung. Spezialisiert auf europäische Patentanmeldung sowie Einspruchs- und Beschwerdeverfahren für US-amerikanische und europäische Firmenkunden.
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Haseltine Lake Kempner LLP
Haseltine Lake Kempner LLP · München