Strukturierung von Nanostrukturen mit Imprint-Lithografie

EP3481562 Art A1 15. Mai 2019

Anmelder: University of Massachusetts 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3481562
Aktenzeichen: EP17824706
Anmeldetag: 26. Juni 2017
Veröffentlichung: 15. Mai 2019
Rechtsraum: EP
IPC: B05D5/02B32B3/10B32B5/16B32B5/30B41M1/24H01L21/02C23C18/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: University of Massachusetts
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Massachusetts

Staatliches Universitätssystem im US-Bundesstaat Massachusetts mit mehreren Standorten, unter anderem Amherst, Boston und Worcester, aktiv in Forschung und Lehre über zahlreiche Fachrichtungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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