System zur Interferometrischen Messung der Abbildungsgüte einer Anamorphotischen Projektionslinse

EP3482153 Art B1 6. Oktober 2021

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3482153
Aktenzeichen: EP17735450
Anmeldetag: 27. Juni 2017
Veröffentlichung: 6. Oktober 2021
Erteilung: 6. Oktober 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G01B9/02G01M11/00G01M11/02G03F7/20G01J9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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