Vakuumpumpe mit Ballastgasventil

EP3483448 Art B1 13. Mai 2020

Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3483448
Aktenzeichen
EP17201444
Anmeldetag
13. November 2017
Veröffentlichung
13. Mai 2020
Erteilung
13. Mai 2020
Rechtsraum
EP
IPC
F04C25/02F04C28/24F04C29/12F04B39/10F04B39/12
Offizieller Volltext

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe mit einem Pumpenkörper, dessen Innenseite einen Pumpraum begrenzt und an dessen Außenseite ein Ventil zur Steuerung der Zufuhr eines Ballastgases in den Pumpraum angeordnet ist, wobei das Ventil eine Einlassöffnung und eine Auslassöffnung aufweist, wobei ein erster und ein zweiter Kanal in dem Pumpenkörper ausgebildet sind, wobei der Eingang jedes Kanals dem Ventil zugewandt ist und der Ausgang jedes Kanals in den Pumpraum mündet, und das Ventil zwischen einer ersten und einer zweiten Öffnungsstellung verstellbar ist und wobei die Auslassöffnung in der ersten Öffnungsstellung mit dem Eingang des ersten Kanals und in der zweiten Öffnungsstellung mit dem Eingang des zweiten Kanals ausgerichtet ist.

Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM GMBH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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