Positionserfassungsvorrichtung für ein Magnetgelagertes Objekt

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3483451

Aktenzeichen

EP17200651

Anmeldetag

8. November 2017

Veröffentlichung

5. Januar 2022

Erteilung

5. Januar 2022

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04F04D29/058F16C32/04

Abstract

Eine Vorrichtung zur Erfassung der Position eines zumindest teilweise magnetgelagerten Objekts, insbesondere eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors, insbesondere eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors einer Vakuumpumpe, bevorzugt einer Turbomolekularpumpe, umfasst eine berührungslose Sensorik und eine dieser zugeordnete, bei einer Steuerfrequenz f c arbeitende digitale Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung. Dabei umfasst die Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung Mittel zur Erzeugung eines periodischen elektrischen Erregungssignals mit einer Erregungsfrequenz f e , die durch die folgende Beziehung definiert ist: f e = M f c , wobei M eine natürliche Zahl ist. Die berührungslose Sensorik ist zur Modulation des Erregungssignals in Abhängigkeit von der Position des Objekts ausgeführt und liefert als Ausgangssignal ein entsprechend moduliertes analoges Sensorsignal. Die Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung umfasst zudem Mittel zur A/D-Wandlung des modulierten analogen Sensorsignals in ein digitales Sensorsignal, durch die das modulierte analoge Sensorsignal mit einer bezüglich der Erregungsfrequenz f e asynchronen Abtastfrequenz f s abgetastet wird, für die die folgende Beziehung gilt: f s f e / N , wobei N eine weitere, von M unabhängige natürliche Zahl ist. Zudem umfasst die Steuer- und/oder Auswerteeinrichtung mit der Steuerfrequenz f c arbeitende Rechenmittel zur Berechnung der Position des Objekts auf der Basis des von den Mitteln zur A/D-Wandlung gelieferten digitalen Sensorsignals.

Anmelder

Firma

PFEIFFER VACUUM GMBH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete