Systeme und Verfahren zur Verlängerung der Lebensdauer eines Excimer-Strahlers

EP3483918 Art B1 18. Oktober 2023

Anmelder: The Boeing Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3483918
Aktenzeichen: EP18205352
Anmeldetag: 9. November 2018
Veröffentlichung: 18. Oktober 2023
Erteilung: 18. Oktober 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01J61/10H01J61/12H01J61/16H01J61/56H01J65/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Boeing Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Boeing

US-amerikanischer Luft- und Raumfahrtkonzern mit Sitz in Virginia. Entwickelt und fertigt Verkehrsflugzeuge, Militärflugzeuge, Raumfahrtsysteme sowie Verteidigungs- und Sicherheitstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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