Lithographische Vorrichtung, Vorrichtung zur Lithographischen Projektion und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP3488293
Art A1
29. Mai 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Carl Zeiss SMT GmbH 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3488293
- Aktenzeichen
- EP17730175
- Anmeldetag
- 16. Juni 2017
- Veröffentlichung
- 29. Mai 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Carl Zeiss SMT GmbH - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
1.949 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Verhoeven, Johannus Theodorus Maria
Veldhoven, Niederlande
12
Patente gesamt
6
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven