Vakuumpumpe

EP3489516 Art B1 1. September 2021

Anmelder: PFEIFFER VACUUM GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3489516
Aktenzeichen
EP17203509
Anmeldetag
24. November 2017
Veröffentlichung
1. September 2021
Erteilung
1. September 2021
Rechtsraum
EP
IPC
F04C23/00F04C25/02F04C18/344F04B37/14F04C28/02F04C28/06F04B41/06F04B49/06
Offizieller Volltext

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe umfassend einen ersten Arbeitspumpabschnitt, wenigstens einen zweiten Arbeitspumpabschnitt und eine Steuereinrichtung, mit der zwischen einer Reihenschaltung und einer Parallelschaltung der Arbeitspumpabschnitte umgeschaltet werden kann.

Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM GMBH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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