Verfahren zum Ermitteln von Informationen über ein Musterungsverfahren, Verfahren zur Verringerung von Fehlern bei Messdaten, Verfahren zur Kalibrierung eines Metrologieverfahrens, Verfahren zur Auswahl von Metrologiezielen
EP3492985
Art A1
5. Juni 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3492985
- Aktenzeichen
- EP17205158
- Anmeldetag
- 4. Dezember 2017
- Veröffentlichung
- 5. Juni 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Broeken, Petrus Henricus Johannes
Veldhoven, Niederlande
88
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte