Verfahren und Vorrichtung zur Lithographischen Erzeugung einer Zielstruktur an einer Nicht-Planaren Ausgangsstruktur

EP3494440 Art A1 12. Juni 2019

Anmelder: Karlsruher Institut für Technologie 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3494440
Aktenzeichen: EP17749175
Anmeldetag: 4. August 2017
Veröffentlichung: 12. Juni 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Karlsruher Institut für Technologie
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Karlsruher Institut für Technologie

Deutsche Universität und Forschungseinrichtung in Karlsruhe, entstanden aus Fusion von Universität und Großforschungszentrum, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur- und Technikwissenschaften.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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