Verfahren zur Herstellung von Wellenleitern mit Kernen auf Ge-Basis
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3495860
- Aktenzeichen
- EP18211025
- Anmeldetag
- 7. Dezember 2018
- Veröffentlichung
- 16. September 2020
- Erteilung
- 16. September 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B6/13// G02B6/10G02B6/12H01L21/02
Abstract
L'invention a pour objet un procédé de réalisation d'un guide d'onde comprenant un coeur 31 à base de germanium et une gaine, ledit procédé étant caractérisé en ce qu'il comprend une étape de dépôt « basse température » d'une coquille 40 après formation du coeur 31 par gravure, telle que la température de dépôt soit inférieure à 780°C, suivie d'une étape de dépôt « haute température » d'une couche d'encapsulation 50 épaisse. La coquille 40 et la couche d'encapsulation 50 forment au moins partiellement la gaine du guide d'onde. Optionnellement, une étape de recuit sous hydrogène à « basse température », inférieure à 750°C, précède le dépôt de la coquille 40. Ces étapes de recuit et de dépôt « basses températures » permettent avantageusement d'éviter une altération post-gravure des surfaces libres du coeur 31 lors de la formation de la gaine moins riche en germanium.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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