Verfahren zur Herstellung einer Halbleiterstruktur und davon Hergestellte Halbleiterstruktur

EP3496131 Art B1 21. Juni 2023

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3496131
Aktenzeichen: EP17205577
Anmeldetag: 5. Dezember 2017
Veröffentlichung: 21. Juni 2023
Erteilung: 21. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/20H01L29/66H01L29/78H01L21/8234H01L29/20H01L29/739H01L33/00H01L33/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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