Vakuumpumpe

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3499044

Aktenzeichen

EP17208114

Anmeldetag

18. Dezember 2017

Veröffentlichung

4. Mai 2022

Erteilung

4. Mai 2022

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04F04D29/048F04D29/049F04D29/056F04D29/66F16C27/06

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, mit wenigstens einem Pumpeneinlass und wenigstens einem Pumpenauslass, mit Rotorelementen, die an einer Rotorwelle angeordnet sind, und mit Statorelementen, die an einem Gehäuse oder an einem fest mit dem Gehäuse verbundenen Bauteil angeordnet sind, wobei sich Rotor- und Statorelemente gegenüberstehen bzw. benachbart sind und wobei wenigstens zwei Lager zur Lagerung der Rotorwelle vorgesehen sind, von welchen Lagern ein erstes Lager einem Hochvakuumbereich, insbesondere dem wenigstens einen Pumpeneinlass, zugeordnet ist und ein zweites Lager einem Vorvakuumbereich, insbesondere dem wenigstens einen Pumpenauslass, zugeordnet ist, wobei das Lager, welches dem Hochvakuumbereich zugeordnet ist, ein schmiermittelfreies Lager, insbesondere ein Permanentmagnetlager, ist und das Lager, welches dem Vorvakuumbereich zugeordnet ist, ein Wälzlager ist, wobei das Wälzlager einen Außenring und einen Innenring aufweist und zwischen dem Außenring und dem Innenring Wälzkörper angeordnet sind, gekennzeichnet durch eine Lagervorrichtung mit einer Lagerkassette zur Lagerung des Wälzlagers, wobei die Lagerkassette wenigstens teilweise ein Kunststoffmaterial aufweist und einen Aufnahmeabschnitt zur Aufnahme des Außenrings des Wälzlagers und einen Befestigungsabschnitt zur Befestigung der Lagerkassette an dem Gehäuse oder an einem mit dem Gehäuse fest verbundenen Bauteil umfasst.

Anmelder

Firma

PFEIFFER VACUUM GMBH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete