Verfahren zur Herstellung eines Musters von Merkmalen durch Lithografie und Ätzen

EP3499310 Art A1 19. Juni 2019

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3499310
Aktenzeichen: EP17207209
Anmeldetag: 14. Dezember 2017
Veröffentlichung: 19. Juni 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G03F1/70

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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