Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren

EP3502671 Art A1 26. Juni 2019

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3502671
Aktenzeichen: EP17841279
Anmeldetag: 16. Juni 2017
Veröffentlichung: 26. Juni 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/88G01B11/30G01N21/956

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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