Selektive Ablagerung von Metallorganische Gerüsten

EP3503164 Art A1 26. Juni 2019

Anmelder: IMEC vzw, Katholieke Universiteit Leuven 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3503164
Aktenzeichen: EP17209896
Anmeldetag: 21. Dezember 2017
Veröffentlichung: 26. Juni 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC vzw
Katholieke Universiteit Leuven
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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