Rasterelektronenmikroskop und Analyseverfahren

EP3506332 Art B1 23. Dezember 2020

Anmelder: JEOL LTD., Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3506332
Aktenzeichen: EP18248063
Anmeldetag: 27. Dezember 2018
Veröffentlichung: 23. Dezember 2020
Erteilung: 23. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/244H01J37/28H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: JEOL LTD.
Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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