Übertragungsverfahren einer Nutzschicht auf ein Trägersubstrat

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3506341

Aktenzeichen

EP18213125

Anmeldetag

17. Dezember 2018

Veröffentlichung

29. Juli 2020

Erteilung

29. Juli 2020

Rechtsraum

EP

IPC

H01L21/762

Abstract

Ce procédé comporte les étapes :a) prévoir un substrat donneur (3) comportant :- une première surface (30),- une zone de fragilisation (ZS) comprenant des espèces implantées,- la couche utile (1),- une zone amorphe (4) s'étendant dans la couche utile (1), parallèlement à la zone de fragilisation (ZS) ;b) assembler le substrat donneur (3) au substrat support (2) de sorte que la zone amorphe (4) est au moins partiellement en regard d'une cavité (200) délimitée en partie par la première surface (30) du substrat donneur (3) ;c) fracturer le substrat donneur (3) suivant la zone de fragilisation (ZS) de manière à exposer la couche utile (1) ;d) éventuellement recristalliser la zone amorphe (4).

Anmelder

Firma

Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives

Land

🇫🇷 Frankreich

Fachgebiete