System und Verfahren zur Prozessinduzierten Verzerrungsvorhersage Während der Waferabscheidung
EP3507825
Art A1
10. Juli 2019
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3507825
- Aktenzeichen
- EP17857491
- Anmeldetag
- 29. September 2017
- Veröffentlichung
- 10. Juli 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66H01L21/67G01B9/02C23C14/54C23C16/52G01B11/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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