Vorrichtung und Verfahren zur Korrektur von Array-Astigmatismus in einem Mehrspaltigen Rasterelektronenmikroskopiesystem
EP3510623
Art A1
17. Juli 2019
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3510623
- Aktenzeichen
- EP17849483
- Anmeldetag
- 6. September 2017
- Veröffentlichung
- 17. Juli 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/153H01J37/28// G01N23/2251
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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