Substratverarbeitungsvorrichtung und Steuerungsverfahren

EP3511124 Art B1 19. August 2020

Anmelder: Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3511124
Aktenzeichen
EP19151417
Anmeldetag
11. Januar 2019
Veröffentlichung
19. August 2020
Erteilung
19. August 2020
Rechtsraum
EP
IPC
B24B21/00B24B21/20B24B9/06B24B49/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Ebara Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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